①方法誤差.主要指因測(cè)量方法不完善而造成的誤差，如采點(diǎn)數(shù)和位置選擇、基準(zhǔn)選擇和測(cè)量、工件安裝是否合理等。測(cè)量方法的選擇應(yīng)基于對(duì)圖紙、零件裝配、功能等的透徹分析，對(duì)不明確之處，由經(jīng)驗(yàn)豐富的人員加以把握。

 

　　②設(shè)備誤差。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的日常維護(hù)保養(yǎng)和定期的精度補(bǔ)償非常重要，另外，測(cè)量頭也是這類誤差的重要來源，如測(cè)量座不同角度旋轉(zhuǎn)定位引起的誤差。誤差補(bǔ)償技術(shù)是解決測(cè)量設(shè)備誤差的一種重要手段，研究人員對(duì)其進(jìn)行了深入研究，是今后提高測(cè)量精度的主要趨勢(shì)。

 

　　③人員誤差。指測(cè)量人員由于自身能力的限制，在測(cè)量過程中引入的誤差，如手工采點(diǎn)時(shí)由于測(cè)量速度、方向和力度的不同而引起的誤差。測(cè)量人員在測(cè)量過程中盡量使各種測(cè)量影響因素趨于一致、減小，如測(cè)量力相同、速度均勻過渡等，盡量采用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的自動(dòng)測(cè)量模式。

 

　　④環(huán)境誤差.指因環(huán)境因素和測(cè)量設(shè)備所規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)不一致所造成的誤差。溫度，濕度，氣壓，振動(dòng)，灰塵等，溫度是影響測(cè)量精度的主要因素。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的溫度要求為20+/-2℃