從結構上來說，

  三坐標測量儀主要由：

1.機械系統，

2.測頭系統，

3.電氣控制硬件系統，

4.數據處理軟件系統組成。

  輪廓儀的結構：
輪廓儀由花崗巖平板、工作臺、傳感器、驅動箱、顯示器、電腦和打印機等部分組成.測量時可選定被測零件的不同位置，設定各種測量長度進行自動測量，評定段內采樣數據達數萬個點。并可顯示或打印輪廓形狀及其尺寸，各種粗糙度參數及輪廓的支承長度率曲線等。  
    

從用途上來說，
  三坐標測量儀可以測量模具產品，電子類產品，通訊類，汽車類等等很多，已經廣泛應用于航天，汽車，電子，模具等行業。在一個工廠它的用途確實很廣泛，但它的價格也不菲。
  

  輪廓儀可測量各種精密機械零件的粗糙度和輪廓形狀參數。用擬合法來評定園弧和直線等。從而可測量園弧半徑、直線度、凸度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺階等形狀參數。儀器還可對各種零件表面的粗糙度進行測試；可對平面、斜面、外園柱面、內孔表面、深槽表面、圓弧面和球面的粗糙度進行測試,并實現多種參數測量。